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全自动电感耦合等离子体刻蚀机（ICP-500）

武汉赛斯特精密仪器有限公司

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SAT-5D（MFC）内置MFC等离子清洗机

赛奥特（北京）科技有限公司

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ICP-5000型全自动电感耦合等离子体刻蚀机

武汉赛斯特精密仪器有限公司

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ICP-2B型标准电感耦合等离子体刻蚀机

武汉赛斯特精密仪器有限公司

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Wintech ICP-200微芸电感耦合等离子体刻蚀机

上海微芸半导体科技有限公司

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Wintech CCP-200微芸电容耦合等离子体刻蚀机

上海微芸半导体科技有限公司

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SENTECH SI 500 C低温ICP-RIE等离子体刻蚀系统

深圳市矢量科学仪器有限公司

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Pishow® D 系列8英寸电感耦合等离子体-深硅刻蚀设备

深圳市矢量科学仪器有限公司

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DISC-ICP-601/801/1201/感应耦合等离子体刻蚀机（ICP）

北京中科复华科技有限公司

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NE-550ICP 刻蚀机：高密度等离子蚀刻装置NE-550

北京亚科晨旭科技有限公司

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